主权项 |
一种干涉仪系统,包括:一照明模组,系产生复数个不同光谱光分布;一多重元件侦测器;一成像模组,系用以在该多重元件侦测器之上,利用测试光成像一测试物体之一表面,以及在该多重元件侦测器之上,结合该测试光与参考光以形成一干涉图案,该测试光及该参考光系衍生于该照明模组;以及一电子控制模组,系通信地连接于至少该照明模组及该多重元件侦测器,其中,在运作过程之中,该电子控制模组系造成该照明模组去以该复数个不同光谱光分布依序地照射该测试物体之该表面,而该多重元件侦测器系对应地记录该测试物体之该表面之复数个干涉图案及影像,决定资讯关于(i)该测试物体之该表面之一形状,至少部分地,从对于该复数个不同光谱光分布之一个或多个被记录之该等干涉图案,以及(ii)该测试物体之该表面之一颜色,至少部分地,从对于该复数个不同光谱光分布之两个或多个被记录之该等影像,以及从被决定之资讯产生该形状之一图像以及该测试物体之该表面之该颜色。
|