主权项 |
一种半导体制造系统,包括:一或多个半导体制造工具;欲由该一或多个半导体制造工具制造之半导体产品之一第一列表,该第一列表包括一或多个半导体产品;一产品和工具矩阵资料库,由产品成品率与历史记录产生一制造工具矩阵资讯,并且包括该一或多个半导体产品与该一或多个半导体制造工具之一效能资讯和一制造资讯,其中该效能资讯和该制造资讯包括该一或多个半导体制造工具对于该一或多个半导体产品之每一者的效能间隙;以及一产品和工具选择引擎,根据制造工具矩阵资讯,将该一或多个半导体产品分配至该一或多个半导体制造工具。
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