发明名称 负压式分离机及使用该分离机之分离方法
摘要
申请公布号 TWI509676 申请公布日期 2015.11.21
申请号 TW102111763 申请日期 2013.04.01
申请人 京元电子股份有限公司 发明人 蔡宗益
分类号 H01L21/301 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人 吴冠赐 台北市松山区敦化北路102号9楼;林志鸿 台北市松山区敦化北路102号9楼
主权项 一种负压式分离机,包括:一承载台;一移载件,设置于该承载台上;一驱动单元,用以驱动该移载件;一固定座,固设于该承载台上,具有一通道;一料管,插设于该通道内,该料管与该通道用以容设依序排列且相同尺寸之复数半导体元件;以及一从动平台,固设于该移载件上,包括有相互连通之至少一容置槽及一空气通道,该容置槽之尺寸与该半导体元件相对应,该空气通道与一真空泵相通,该真空泵用以吸出一位于该通道前端之半导体元件至该容置槽。
地址 新竹市公道五路2段81号