发明名称 | 负压式分离机及使用该分离机之分离方法 | ||
摘要 | |||
申请公布号 | TWI509676 | 申请公布日期 | 2015.11.21 |
申请号 | TW102111763 | 申请日期 | 2013.04.01 |
申请人 | 京元电子股份有限公司 | 发明人 | 蔡宗益 |
分类号 | H01L21/301 | 主分类号 | H01L21/301 |
代理机构 | 代理人 | 吴冠赐 台北市松山区敦化北路102号9楼;林志鸿 台北市松山区敦化北路102号9楼 | |
主权项 | 一种负压式分离机,包括:一承载台;一移载件,设置于该承载台上;一驱动单元,用以驱动该移载件;一固定座,固设于该承载台上,具有一通道;一料管,插设于该通道内,该料管与该通道用以容设依序排列且相同尺寸之复数半导体元件;以及一从动平台,固设于该移载件上,包括有相互连通之至少一容置槽及一空气通道,该容置槽之尺寸与该半导体元件相对应,该空气通道与一真空泵相通,该真空泵用以吸出一位于该通道前端之半导体元件至该容置槽。 | ||
地址 | 新竹市公道五路2段81号 |