主权项 |
一种探针卡,用于测试一晶圆,该探针卡包括:一印刷电路板,具有一导电图案;一探针头,邻设于该印刷电路板,该探针头定义穿过该探针头之至少一通孔,该探针头系由一电性绝缘材料所制成;至少一导电精密探针,分别设置于该至少一通孔中,该导电精密探针具有一第一端,该第一端系电性连接至该印刷电路板上之该导电图案;以及至少一导电探针,该导电探针包括一悬臂部以及一尖端部,该悬臂部系接触并电性连接至该导电精密探针之一第二端,该尖端部系可电性连接至该晶圆,以便将该晶圆电性连接至该印刷电路板上的该导电图案,该导电探针之该悬臂部系固定连接于该探针头;其中该导电探针之该悬臂部系藉由一黏接方式固定连接于该探针头,该黏接方式系接触并设置于该导电探针之该悬臂部与该探针头之间。
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