发明名称 处理器及检查装置
摘要
申请公布号 TWI509727 申请公布日期 2015.11.21
申请号 TW102122580 申请日期 2013.06.25
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 长谷川信夫;前田政己
分类号 H01L21/677;H01L21/66 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种处理器,其特征在于:当将相互正交之3个方向设为第1方向、第2方向及第3方向时,该处理器包括:基部;第1支持部,其固定于上述基部上,且于动作时相对于上述基部之相对位置不变;第1零件保持部,其支持于上述第1支持部上,以可相对于上述第1支持部沿上述第3方向移动之方式设置,且保持零件;第1移动部,其支持于上述第1支持部上,且可相对于上述第1支持部沿上述第2方向移动;第2零件保持部,其支持于上述第1移动部上,以相对于上述第1零件保持部而位于上述第2方向上、并且可相对于上述第1移动部沿上述第3方向移动之方式设置,且保持零件;第2支持部,其支持于上述基部上,相对于上述第1支持部而位于上述第1方向上,并且可相对于上述基部沿上述第1方向移动;第3零件保持部,其支持于上述第2支持部上,以可相对于上述第2支持部沿上述第3方向移动之方式设置,且保持零件;第2移动部,其支持于上述第2支持部上,且可相对于上述第2支持部沿上述第2方向移动;第4零件保持部,其支持于上述第2移动部上,以相对于上述第3零件保持部而位于上述第2方向上、并且可相对于上述第2移动部沿上述第3方向移动之方式设置,且保持零件;第1移动机构,其使上述第1移动部及上述第2移动部一体地向上述第2方向移动,而使上述第1零件保持部与上述第2零件保持 部之上述第2方向之相隔距离及上述第3零件保持部与上述第4零件保持部之上述第2方向之相隔距离一起变化;及第2移动机构,其使上述第2支持部沿上述第1方向移动,而使上述第1支持部与上述第2支持部之上述第1方向之相隔距离变化。
地址 日本