导电固定结构

主权项

一种导电固定结构，用于固定一晶圆电镀夹持构件，并将该晶圆电镀夹持构件电连接于一基座，该导电固定结构包含： 一导电座，其中央固定该晶圆电镀夹持构件，且该导电座架设于该基座；及 至少二导电块，分别设置于该导电座之相对两侧边，且该等导电块分别电连接于该晶圆电镀夹持构件； 其中，该等导电块用于分别电接触于该基座的复数导电弹片。