| 主权项 |
一种故障情况侦测方法，在处理第一基板期间侦测数个故障情况之第一故障情况，该方法包含：在该第一基板的处理期间经由感测器蒐集第一资料，其中该第一资料包含一第一组样本及一第二组样本；传送该第一资料至一故障装置；经由该故障装置处理该第一资料，包含：判定一已校正故障向量，包括：判定一偏移向量，该偏移向量系对应至一电浆处理腔室之一或更多参数的偏移；根据该第一组样本及该第二组样本判定一未校正故障向量；及根据该偏移向量校正该未校正故障向量，以产生该已校正故障向量；及比较该第一资料之第一部份与储存于一故障资料库中的数个故障模型，其中该数个故障模型分别对应至该数个故障情况，其中该数个故障模型包括下列各者：(i)数个故障向量、(ii)数个故障边界、与(iii)数组主成分分析(PCA)参数，且其中该数个故障向量包含该已校正故障向量；以及根据该第一资料之该第一部份与该数个故障模型的该比较，侦测该第一故障情况。
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