发明名称 | 晶圆舟之晶圆支撑爪(三) | ||
摘要 | |||
申请公布号 | TWD171964 | 申请公布日期 | 2015.11.21 |
申请号 | TW104302641 | 申请日期 | 2015.05.18 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 草壁义宪;及川大海 |
分类号 | 15-99 | 主分类号 | 15-99 |
代理机构 | 代理人 | 林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;陈彦希 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文 台北市大安区敦化南路1段245号8楼 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |