发明名称 晶圆舟之晶圆支撑爪(三)
摘要
申请公布号 TWD171964 申请公布日期 2015.11.21
申请号 TW104302641 申请日期 2015.05.18
申请人 东京威力科创股份有限公司 发明人 草壁义宪;及川大海
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 代理人 林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;陈彦希 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项
地址 日本