| 主权项 |
一种微电浆装置，包含：一阳极板单元；一阴极板单元，面向该阳极板单元设置并配合该阳极板单元共同界定出一封闭的放电空间，该阴极板单元具有一以微波电浆辅助化学气相沉积法(MPECVD)方式沉积而得的钻石膜，该钻石膜面向该阳极板单元，该钻石膜为一含有超奈米晶钻石晶粒及石墨相的超奈米晶钻石膜，或是一混合有微晶钻石晶粒、超奈米晶钻石晶粒及石墨相的复合钻石膜，且该等超奈米晶钻石晶粒的晶粒尺寸不大于5nm，该钻石膜具有一基部及复数锥状部，该等锥状部彼此间隔设置，并由该基部向该阳极板单元凸伸，且该每一个锥状部的表面包含多数超奈米晶钻石晶粒，其中，该钻石膜的电子场发射起始电场(E0)小于等于5V/μm，且在10V/μm之电场强度下的场发射电流密度(Je)不小于1mA/cm2；及一电力单元，分别电连接该阳极板单元与该阴极板单元，并在供应电力于该阳极板单元与该阴极板单元时令该放电空间中产生电浆。 |
