| 发明名称 |
HIGH PURITY ALUMINUM TOP COAT ON SUBSTRATE |
| 摘要 |
프로세싱 챔버를 위한 챔버 구성요소를 제조하기 위해, 알루미늄 코팅이 불순물들을 포함하는 물품 상에 형성되며, 알루미늄 코팅은 실질적으로 불순물들을 함유하지 않는다. |
| 申请公布号 |
KR20150129660(A) |
申请公布日期 |
2015.11.20 |
| 申请号 |
KR20157019798 |
申请日期 |
2014.03.03 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
SUN JENNIFER Y.;BANDA SUMANTH |
| 分类号 |
C25D11/04;C25D5/48;C25D11/02;C25D17/00 |
主分类号 |
C25D11/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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