Systeme und Verfahren zur Stoßfestigkeit eines MEMS-Gyroskops

摘要

Verschiedene Ausführungsformen der Erfindung ermöglichen erhöhte Stoßfestigkeit bei Gyroskopen. In bestimmten Ausführungsformen ist Unempfindlichkeit gegen unerwünschte Kräfte, die den Signalausgang verderben, durch eine Schachbrettmuster-Architektur von Prüfmassen geschaffen, die eine zweite Schicht differentieller Signale vorsieht, die bei bestehenden Entwicklungen nicht vorhanden sind. Die Massen sind parallel zueinander in einer Zwei-Mal-Zwei-Anordnung mit zwei rechtwinkligen Symmetrieachsen ausgerichtet. Die Massen sind derart zum Schwingen angesteuert, dass sich jede Masse antiparallel zu einer benachbarten Prüfmasse bewegt. In einigen Ausführungsformen der Erfindung verbindet ein mechanisches Verbindungselementsystem die Prüfmassen miteinander, um Auslenkungen aufgrund mechanischer Störungen zu unterdrücken und gleichzeitig Auslenkungen aufgrund von Corioliskräften zuzulassen, um falsche Sensorsignale zu verhindern.