发明名称 ワイヤ配線構造を形成する方法
摘要 【解決手段】 ワイヤ配線構造を形成する方法は、(a)ワイヤ・ボンディング・ツールを使用して基板上のボンディング位置にワイヤボンドを形成する工程と、(b)前記ワイヤボンドから連続して伸びる所定の長さのワイヤを別の位置まで延長させる工程と、(c)前記ワイヤ・ボンディング・ツールを使用して前記連続して伸びる所定の長さのワイヤの一部分を前記他の位置に対して押圧する工程と、(d)前記ワイヤ・ボンディング・ツールおよび前記連続して伸びる所定の長さのワイヤの前記押圧された部分を前記ワイヤボンドの上方の位置へ移動する工程と、(e)前記連続して伸びる所定の長さのワイヤを前記押圧部分においてワイヤ供給部から分離し、前記ボンディング位置に対してボンディングされたワイヤ配線構造を提供する工程とを含む。【選択図】 図1H
申请公布号 JP2015533258(A) 申请公布日期 2015.11.19
申请号 JP20150523103 申请日期 2013.07.01
申请人 クリック アンド ソッファ インダストリーズ、インク. 发明人 コロシモ、トーマス、ジェイ.、ジュニア;ブルンナー、ジョン、ダブリュー.
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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