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<p>본 발명의 일태양의 캐소드의 동작 온도 조정 방법은, 캐소드를 이용한 전자빔원에서의 이미션 전류값과, 이러한 이미션 전류에 있어서 바이어스 전압이 포화되는 캐소드의 동작 온도와의 상관 관계를 근사한 근사식을 취득하고, 제 n 번째(n은 자연수)의 이미션 전류값과 캐소드의 제 n 번째의 동작 온도가 전자빔원에 설정된 상태에서, 캐소드로부터 방출된 전자빔의 전류 밀도를 측정하고, 측정된 전류 밀도가 허용 범위 내인지 여부를 판정하고, 전류 밀도가 허용 범위 내가 아닐 경우, 설정된 제 n 번째의 이미션 전류값을 제 n ＋ 1 번째의 이미션 전류값으로 변경하고, 근사식을 이용하여, 제 n ＋ 1 번째의 이미션 전류값에 대응하는 캐소드의 동작 온도를 연산하고, 캐소드의 제 n ＋ 1 번째의 동작 온도로서 전자빔원에 설정하는 것을 특징으로 한다.</p> |
