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Eine Regelungsanordnung (6), insbesondere zur Leistungsregelung und/oder Impedanzanpassung der Ausgangsimpedanz eines Hochfrequenzleistungsgenerators an die Impedanz einer Last, insbesondere einer Plasmaentladung, weist auf: a. einen ersten Regler (13), dem ein erster Sollwert (14) und ein erster Istwert (12) sowie ein Korrekturwert (15) zugeführt sind, wobei der erste Regler (13) eingerichtet ist, unter Berücksichtigung des Korrekturwerts (15) einen ersten Stellwert (22) zu erzeugen, b. eine Korrekturwertermittlungsvorrichtung (16), der ein Kontrollwert (24) zugeführt ist, und die eingerichtet ist, unter Berücksichtigung des Kontrollwerts (24) und eines Vorgabewerts (17) den Korrekturwert (15) zu ermitteln, wobei c. die Korrekturwertermittlungsvorrichtung (16) und der erste Regler (13) derart ausgelegt sind, dass der Korrekturwert (15) bei Abweichung des Kontrollwerts (24) von dem Vorgabewert (17) den ersten Regler (6) so beeinflusst, dass der erste Istwert (12) von dem ersten Sollwert (14) im eingeregelten Zustand des ersten Reglers (6) abweicht. |
