摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (100) zur Erzeugung einer wunschgemäßen Lichtintensitätsverteilung, umfassend eine Lichtquelle (1), die einen Lichtstrahl (5) mit einer ersten Intensitätsverteilung in eine Strahlrichtung (S) abgibt, eine der Lichtquelle nachgeordneten Strahlformungsoptik, die den Lichtstrahl in die wunschgemäße zweite Intensitätsverteilung in einer Bearbeitungsebene (4) umwandelt, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlformungsoptik ein diffraktives Phasenelement (2) mit integrierter sphärischer Phase und eine Fokussierlinse (3) umfasst.</p> |