| 摘要 |
<p>실시 형태에 따른 기판 반송 로봇은, 신축 아암부와, 로봇 핸드와, 센서부를 구비한다. 신축 아암부는, 수평 방향으로 신축한다. 로봇 핸드는, 기판 유지용의 포크가 마련되는 동시에, 기단부가 상기 신축 아암부의 선단부에 대하여 회전 가능하게 연결된다. 센서부는, 로봇 핸드의 회전력의 전달을 받아서 회전 가능하게 마련되고, 상기 회전에 의해 평면에서 볼 때 상기 포크에 유지된 기판의 측단부와 교차하는 것에 의해, 상기 기판의 측단 위치를 검출한다.</p> |
