| 摘要 |
<p>박막 증착장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착장치는, 기판에 대한 증착공정이 수행되는 공정챔버; 공정챔버의 내부에 마련되되, 기판을 파지하는 기판 파지유닛; 공정챔버의 내부에 기판 파지유닛에 대향되게 배치되되, 마스크를 지지하는 마스크 프레임; 및 마스크 프레임에 연결되어 마스크가 기판에 밀착되도록 마스크 프레임을 기판 파지유닛 방향으로 이송하되, 기판과 마스크를 상호 평행되게 조절하는 마스크 이송유닛을 포함한다.</p> |
