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<p>Messvorrichtung (10; 110) zum Messen einer Positionsänderung eines Messobjekts (512; 562; 566) in Bezug auf ein Referenzobjekt (514; 568) mit einem Anstrahlmodul (30; 130; 330), welches lichtleitend ist, als zusammenhängender Körper gestaltet ist und eine im Inneren des Anstrahlmoduls angeordnete strahlteilende Fläche (38; 138) zur Aufspaltung eines eingehenden Messstrahls (22; 322) in zwei Teilstrahlen (24, 26; 124; 126), ein optisches Beugungsgitter (40; 140a; 140b) zur Wechselwirkung mit einem ersten (24; 124) der beiden Teilstrahlen, sowie eine Reflexionsfläche (44; 144a, 144b) zur Reflexion des zweiten Teilstrahls (26; 126) umfasst, wobei die Messvorrichtung weiterhin eine Strahlerzeugungseinrichtung (12) zum Erzeugen des Messstrahls (22) aufweist, wobei die Strahlerzeugungseinrichtung (12) in Bezug auf das Anstrahlmodul (30; 130; 330) beweglich angeordnet ist, derart dass das Anstrahlmodul (30; 130; 330) in zumindest einer Raumrichtung quer zum Messstrahl (22) verschoben werden kann, und wobei die Messvorrichtung (10; 110) dazu konfiguriert ist, eine Positionsänderung des Anstrahlmoduls (30; 130; 330) in der zumindest einen Raumrichtung in Bezug auf die Strahlerzeugungseinrichtung zu ermitteln.</p> |
