| 摘要 |
<p>본 발명은 기판의 회전 속도를 변경할 수 있는 기판 처리 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치는 기판이 로딩되고 기판을 회전시키는 스핀 척과, 상기 스핀 척을 회전시키는 스핀 모터를 구동하는 구동부와, 상기 스핀 척의 회전 속도가 변화되도록 상기 구동부를 제어하는 제어부를 포함하되, 기판의 회전 속도가 제1 속도와 제2 속도 간에 변경되는 동안 기판의 회전 가속도는 계속적으로 변경되는 구간을 가진다.</p> |
