| 摘要 |
<p>본 발명은 모노머 증착 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 모노머 증착 장치는 기판 상에 모노머를 증착하는 모노머 증착 장치에 있어서, 상기 기판의 면적보다 넓게 형성되며, 상기 기판과 대향되는 베이스부; 상기 기판 및 상기 베이스부가 이동하지 않고 상기 기판 상에 모노머가 증착되도록, 상기 베이스부 상에 다수 개의 열로 배치되며 상기 기판 측으로 모노머를 배출하는 노즐부; 상기 기판 및 상기 베이스부가 이동하지 않고 상기 기판 상에 모노머가 증착되도록, 상기 베이스부 상에 다수 개의 열로 배치되며 상기 기판 상의 모노머가 경화되도록 자외선을 조사하는 경화부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 모노머 증착 장치인 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 기판과 베이스부가 이동하지 않고 기판 상에 모노머가 증착되도록 함으로써, 기판 상에 모노머가 균일하게 증착되며 증착 시간이 단축될 수 있는 모노머 증착 장치가 제공된다.</p> |
