Drucksensoreinrichtung mit hoher Sensitivität und hoher Genauigkeit

摘要

Die Spannungsausgabe von einem Niedrigdruck-MEMS-Sensor wird durch Erhöhen der Sensitivität des Sensors verstärkt. Die Sensitivität wird durch Ausdünnen der Membran der Niedrigdruck-Sensoreinrichtung durch ein Eckenausrunden verstärkt. Eine durch das Ausdünnen der Membran erhöhte Nicht-Linearität wird durch gleichzeitiges Erzeugen einer Kreuzversteifung an der unteren Seite der Membran reduziert. Ebenso können eine Kante, Befestigungsstellen und ein Versteifungspad hinzugefügt werden, um die dünnere Membran weiter zu versteifen und eine Druck-Nichtlinearität weiter zu reduzieren.