多晶硅铸锭炉热场结构

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉热场结构，包括隔热笼、置于所述隔热笼内的热交换台、放置在所述热交换台上的坩埚、设置在坩埚四周的石墨支撑板、设置石墨支撑板与隔热笼之间的侧部加热器、设置在坩埚顶部的顶部加热器，所述石墨支撑板、侧部加热器及顶部加热器中的至少一个元件与隔热笼相对的表面上设置有空腔。上述空腔结构，减少加热器或石墨支撑板辐射到隔热笼内壁的热量，增加隔热笼辐射回石墨部件上热量的吸收率，降低隔热笼温度，减少隔热笼与铸锭炉体之间的辐射换热，减少铸锭能耗损失，缩短铸锭周期，有效降低多晶硅铸锭生产成本。

主权项

一种多晶硅铸锭炉热场结构，包括隔热笼、置于所述隔热笼内的热交换台、放置在所述热交换台上的坩埚、设置在坩埚四周的石墨支撑板、设置石墨支撑板与隔热笼之间的侧部加热器、设置在坩埚顶部的顶部加热器，其特征在于：所述石墨支撑板、侧部加热器及顶部加热器中的至少一个元件与隔热笼相对的表面上设置有空腔。