发明名称 一种基于内置位移传感器音圈电机的粘片机焊头机构
摘要 本发明是一种基于内置位移传感器音圈电机的粘片机焊头机构。包括有伺服电机(1)、摆臂(2)、音圈电机(3)、焊头吸嘴(14),其中包括有伺服电机(1)、摆臂(2)、音圈电机(3)、焊头吸嘴(14),其中带动摆臂(2)往复旋转、使装设在摆臂上的焊头吸嘴(14)对准取晶或固晶位置的伺服电机(1)的输出轴与摆臂(2)连接,音圈电机(3)固定在摆臂(2)上,完成取晶或固晶动作的焊头吸嘴(14)与音圈电机(3)的输出轴连接。本发明采用音圈电机直驱的方式,可减少焊头吸嘴的残余振动,易于控制好焊头吸嘴的粘片力,进一步提升单位时间内粘焊晶片的数量,提高粘焊质量。本发明涉及一种设计巧妙,性能优良,方便实用的基于内置位移传感器音圈电机的粘片机焊头机构。
申请公布号 CN102983088B 申请公布日期 2015.11.18
申请号 CN201210263411.0 申请日期 2012.07.27
申请人 广东工业大学 发明人 杨志军;陈新;高健;陈新度;刘冠峰;李克天;李泽湘;杨海东;曹水亮
分类号 H01L21/60(2006.01)I 主分类号 H01L21/60(2006.01)I
代理机构 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人 林丽明
主权项 一种基于内置位移传感器音圈电机的粘片机焊头机构,其特征在于包括有伺服电机(1)、摆臂(2)、音圈电机(3)、焊头吸嘴(14),其中带动摆臂(2)往复旋转、使装设在摆臂上的焊头吸嘴(14)对准取晶或固晶位置的伺服电机(1)的输出轴与摆臂(2)连接,音圈电机(3)固定在摆臂(2)上,完成取晶或固晶动作的焊头吸嘴(14) 与音圈电机(3)的输出轴连接;上述音圈电机(3)包括有音圈电机外壳(4)、音圈电机磁轭(5)、永久磁铁(6)、音圈电机线圈(7)、音圈电机导向轴(9)、圆筒式外电容极板(11)、圆筒式内电容极板(12)、音圈电机线圈支架(13),音圈电机导向轴(9)的两端支承在音圈电机磁轭(5)的两端,音圈电机线圈支架(13)套装在音圈电机导向轴(9)上,音圈电机线圈(7)装设在音圈电机线圈支架(13)上,永久磁铁(6)装设在音圈电机线圈(7)的外侧,音圈电机磁轭(5)装设在永久磁铁(6)的外侧,且在音圈电机磁轭(5)的中心内孔上嵌有两个圆筒形外电容极板(11),与音圈电机导向轴(9)上嵌有的圆筒式内电容极板(12)形成差分电容位移传感器,焊头吸嘴(14)装设在音圈电机导向轴(9)的伸出端。
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