带有集成静电能量过滤器的带电粒子源

摘要

本发明公开了带有集成静电能量过滤器的带电粒子源。本发明涉及带有集成能量过滤器的带电粒子过滤器。其中所用的大部分过滤器具有高度弯曲的光轴，且因此使用具有难以制造的形式的部件，根据本发明的该源使用在直光轴周围的电极。令人吃惊的是，本发明者发现，倘若电极（114,116,120,122）中的一些形成为120°/60°/120°/60°，很可能使带电粒子束106a偏转离轴线104相当远，示出在能量选择狭缝108处显著的能量扩散，而不引入不能矫正的彗差或像散。这些电极能通过胶合或钎焊陶瓷而附连到彼此，且然后可例如通过火花腐蚀而形成高度同心的孔。

主权项

一种带集成静电能量过滤器的带电粒子源（100），所述带电粒子源用于带电粒子设备中，所述带电粒子源包括：● 带电粒子发射器（102），其用于产生绕轴线(104)的带电粒子束(106)，● 束限制孔口(112)，其用于选择由所述发射器所产生的束的部分，所述束限制孔口绕所述轴线定位，从而选择所述束的轴向部分，● 在能量选择膜片(110)中的能量选择孔口(108)，其用于从通过所述束限制孔口的束的所述部分选择具有所需能量散度的粒子(204)，● 用于在能量选择膜片上形成带电粒子发射器焦点的第一电极；以及● 用于产生静电偶极场以使得所述束偏转的第二电极，其特征在于，● 所述带电粒子发射器和所述第二电极绕所述轴线（104）布置，所述轴线为直轴线。