一种新型蓝宝石真空系统

摘要

本实用新型涉及蓝宝石晶体生长炉领域，旨在提供一种新型蓝宝石真空系统。该真空系统中：主炉室经主真空管路接至第一挡板阀，第一挡板阀依次经第一主抽管路、第二挡板阀、第二主抽管路、波纹管连接至旋片泵，第一主抽管路还依次通过第一预抽管路、真空电磁针阀、第二预抽管路接至第二主抽管路；第一挡板阀的出口端与扩散泵入口端相接，扩散泵的出口端经扩散泵支路、第三挡板阀接至第二主抽管路。本实用新型通过三路抽气路径的切换与控制，能防止大量粉尘料随着气流进入泵体内，大大减少了粉尘料进入旋片泵和扩散泵的几率，延长机油以及泵的使用寿命，降低了成产成本，同时提高了蓝宝石长晶的成品率。

主权项

一种新型蓝宝石真空系统，包括旋片泵和扩散泵；其特征在于，该真空系统中各部件及连接关系为：主炉室经主真空管路接至第一挡板阀，第一挡板阀依次经第一主抽管路、第二挡板阀、第二主抽管路、波纹管连接至旋片泵，第一主抽管路还依次通过第一预抽管路、真空电磁针阀、第二预抽管路接至第二主抽管路；第一挡板阀的出口端与扩散泵入口端相接，扩散泵的出口端经扩散泵支路、第三挡板阀接至第二主抽管路。