一种新型高温氧化物晶体生长设备

摘要

本实用新型提供了一种新型高温氧化物晶体生长设备，包括上保温层、坩埚、加热器、侧保温桶、下保温层、炉盖、上炉腔壁、下炉腔壁、热交换管、底部炉腔壁；所述炉盖、上炉腔壁、下炉腔壁、底部炉腔壁安装固定成一封闭炉腔，其中炉盖、上炉腔壁围成上炉腔，下炉腔壁、底部炉腔壁围成下炉腔。本实用新型在利用热交换法进行晶体生长时，坩埚底部的热交换器采用高热容气体对放置于坩埚底部的籽晶在原料熔化阶段进行保护，在长晶阶段提供晶体生长的冷却驱动力。在晶体生长阶段，通过控制热交换器中冷却气体流速、热交器的功率、炉腔壁内部冷却水流速分别控制晶体径向和轴向的温度梯度，从而获得适合晶体生长的固液界面和晶体生长速度。

主权项

一种新型高温氧化物晶体生长设备，包括上保温层(1)、坩埚(2)、加热器(3)、侧保温桶(4)、下保温层(5)、炉盖(8)、上炉腔壁(10)、下炉腔壁(14)、热交换管(15)、底部炉腔壁(16)，其特征在于：所述炉盖(8)、上炉腔壁(10)、下炉腔壁(14)、底部炉腔壁(16)安装固定成一封闭炉腔，其中炉盖(8)、上炉腔壁(10)围成上炉腔，下炉腔壁(14)、底部炉腔壁(16)围成下炉腔；所述上炉腔壁(10)和下炉腔壁(14)在径向上均为两层或三层结构；所述坩埚(2)置于炉腔中，坩埚(2)的底部正中放置籽晶(13)；所述坩埚(2)外与上炉腔壁(10)、下炉腔壁(14)之间设置有加热器(3)；所述加热器(3)的上方与炉盖(8)之间设置有上保温层(1)，下方与底部炉腔壁(16)之间设置有下保温层(5)，外侧与上炉腔壁(10)、下炉腔壁(14)之间设置有侧保温桶(4)；所述坩埚(2)底部设置有热交换管(15)。