发明名称 |
一种双圆柱形MIM表面等离子波导结构的加速度传感装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种双圆柱形MIM表面等离子波导结构的加速度传感装置,包括Si基底,其特征是,还包括大小相同的第一MIM波导结构和第二MIM波导结构、以及光纤直波导,所述MIM波导结构为圆柱形MIM波导结构;所述第一MIM波导结构和第二MIM波导结构设置在Si基底上;所述光纤直波导设置在Si基底上,所述第一MIM波导结构和第二MIM波导结构对称设置在光纤直波导的两侧,并与光纤直波导靠接;所述的圆柱形MIM波导结构是对称的金-二氧化硅-金表面等离子波导。这种装置不仅能够弥补微电子机械系统传感器受外界环境、自身属性限制的不足,还能够改善传统微环传感器的响应时间长、灵敏度低等问题,这种装置结构简单、易于实现。 |
申请公布号 |
CN204789621U |
申请公布日期 |
2015.11.18 |
申请号 |
CN201520454693.1 |
申请日期 |
2015.06.29 |
申请人 |
广西师范大学 |
发明人 |
秦柳丽;朱君;宋树祥;傅得立 |
分类号 |
G01P15/03(2006.01)I |
主分类号 |
G01P15/03(2006.01)I |
代理机构 |
桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 |
代理人 |
刘梅芳 |
主权项 |
一种双圆柱形MIM表面等离子波导结构的加速度传感装置,包括Si基底,其特征是,还包括大小相同的第一MIM波导结构和第二MIM波导结构,所述MIM波导结构为圆柱形MIM波导结构;所述第一MIM波导结构和第二MIM波导结构设置在Si基底上;光纤直波导,所述光纤直波导设置在Si基底上,所述第一MIM波导结构和第二MIM波导结构对称设置在光纤直波导的两侧,并与光纤直波导靠接。 |
地址 |
541004 广西壮族自治区桂林市七星区育才路15号 |