利用气流控制光刻胶膜厚度的匀胶装置及匀胶方法

摘要

利用气流控制光刻胶膜厚度的匀胶装置及匀胶方法，涉及全息光栅制作领域，解决了现有匀胶方法存在的耗时长、成本高、制备光刻胶膜可靠性差、光刻胶膜不均匀、难以制备较厚光刻胶膜的问题。该装置包括电机、基底真空吸盘、第二真空泵调节开关、光刻胶滴管、风淋背板、风淋腔室、气泵组、显示屏、急停按钮、触屏控制面板、真空泵、残液槽、风速调节开关、第一真空泵调节开关、轴承支撑结构、控制面板、光刻胶喷头、黄色荧光光源、残液收集装置。利用真空泵的真空吸附力使全息光栅基底固定在基底真空吸盘中心，利用气泵组的压缩空气完成匀胶工艺。本发明通过气流控制光刻胶蒸发速率来控制光刻胶膜厚度，可靠性高，耗时短，成本低。

主权项

利用气流控制光刻胶膜厚度的匀胶装置，其特征在于，包括：风淋腔室(7)；固定在风淋腔室(7)外部的控制面板(17)；内置在控制面板(17)中且安装有匀胶程序的计算机；固定在控制面板(17)上且与计算机电连接的触屏控制面板(11)；与计算机电连接的电机(1)，所述电机(1)的输出轴(2)为中空，所述电机(1)的输出轴(2)伸入风淋腔室(7)内部且通过轴承支撑结构(16)固定，通过触屏控制面板(11)控制电机(1)的运转；与电机(1)的输出轴(2)上端固连的基底真空吸盘(3)，所述基底真空吸盘(3)用于放置全息光栅基底(19)，通过电机(1)带动基底真空吸盘(3)旋转；通过管道与电机(1)的输出轴(2)相连且与计算机电连接的真空泵(12)，通过触屏控制面板(11)控制真空泵(12)的运转；安装在电机(1)的输出轴(2)与真空泵(12)之间的管道上的第一真空泵调节开关(15)，打开第一真空泵调节开关(15)，利用真空泵(12)提供的真空吸附力使全息光栅基底(19)固定在基底真空吸盘(3)中心；设置在风淋腔室(7)内部的风淋背板(6)；通过管道与风淋背板(6)相连且与计算机电连接的气泵组(8)，通过触屏控制面板(11)控制气泵组(8)的运转；伸入风淋腔室(7)内部的光刻胶滴管(5)和安装在光刻胶滴管(5)下端的光刻胶喷头(18)；设置在风淋腔室(7)内部且固定在基底真空吸盘(3)下端的残液槽(13)，所述残液槽(13)与真空泵(12)通过管道相连，用于收集光刻胶残液；安装在残液槽(13)与真空泵(12)之间的管道上的残液收集装置(21)和第二真空泵调节开关(4)，打开第二真空泵调节开关(4)，所述残液槽(13)中的光刻胶残液在真空泵(12)的真空吸附力作用下收集至残液收集装置(21)。