一种具有节能效果的罗茨泵机组结构

摘要

本实用新型涉及一种具有节能效果的罗茨泵机组结构，其包括有安装在车架体上的真空泵及罗茨泵，所述真空泵依次通过波纹管以及吸气管连接于罗茨泵上，所述车架体上安装有电气控制箱，所述真空泵和罗茨泵由电气控制箱控制，所述真空泵上安装一与其连通的油雾过滤器，所述罗茨泵上安装变频器，所述变频器控制所述罗茨泵。本实用新型不但能够有效实现罗茨泵的低转速运行，实现节约能源，通过试验测试节约能源在20%左右；而且当扩散泵或者分子泵等高真空获得设备的排气口压力升高时，罗茨泵机组又可以自动实现大抽气速度的运行，对真空腔进行快速排气。

主权项

一种具有节能效果的罗茨泵机组结构，其特征在于，其包括有安装在车架体上的真空泵及罗茨泵，所述真空泵依次通过波纹管以及吸气管连接于罗茨泵上，所述车架体上安装有电气控制箱，所述真空泵和罗茨泵由电气控制箱控制，所述真空泵上安装一与其连通的油雾过滤器，所述罗茨泵上安装变频器，所述变频器控制所述罗茨泵。