超短脉冲激光微形貌加工装置

摘要

本实用新型公开了一种超短脉冲激光微形貌加工装置，其包括自动扫描机械手臂和超短脉冲激光装置；所述的自动扫描机械手臂通过夹持器对所述超短脉冲激光装置进行夹持；所述超短脉冲激光装置包括超短脉冲激光源、中性衰减片、分束片和多个准直透镜组件，沿所述的超短脉冲激光源射出的脉冲激光输出光路上依次设置有中性衰减片、分束片和准直透镜组件。本实用新型因设置有超短脉冲激光源，可以提供脉冲宽度为飞秒级和皮秒级的超短脉冲激光；超短脉冲激光的能量在空间上呈高斯分布，通过控制入射激光的能流密度可使其中心很小区域内的能量值大于材料的破坏阈值，从而得到比聚焦光斑更小的特征尺寸以实现微形貌的精细加工。

主权项

一种超短脉冲激光微形貌加工装置，其特征在于，包括：自动扫描机械手臂和超短脉冲激光装置；所述的自动扫描机械手臂通过夹持器对所述超短脉冲激光装置进行夹持；所述超短脉冲激光装置包括超短脉冲激光源、中性衰减片、分束片和多个准直透镜组件，沿所述的超短脉冲激光源射出的脉冲激光输出光路上依次设置有中性衰减片、分束片和准直透镜组件，所述多个准直透镜组件沿垂直于所述脉冲激光输出光路的方向等间距设置。