| 发明名称 | 微球沉积样品架装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种微球沉积样品架装置，具有由步进电机驱动旋转的样品盘，还具有压电陶瓷振动器，压电陶瓷振动器设于真空室中，安装于步进电机输出端的样品架上，样品盘固定在压电陶瓷振动器上；还具有水平敲击组件，设于样品架的侧边。本实用新型在样品盘上加频率控制和振动功能，这样保证样品不仅仅在转动而且还有跳动，保证沉积均匀性。 | ||
| 申请公布号 | CN204779801U | 申请公布日期 | 2015.11.18 |
| 申请号 | CN201520494086.8 | 申请日期 | 2015.07.09 |
| 申请人 | 沈阳腾鳌真空技术有限公司 | 发明人 | 慈连鳌 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人 | 张志伟 |
| 主权项 | 一种微球沉积样品架装置，具有由步进电机驱动旋转的样品盘，其特征在于：还具有压电陶瓷振动器，压电陶瓷振动器设于真空室中，安装于步进电机输出端的样品架上，样品盘固定在压电陶瓷振动器上。 | ||
| 地址 | 110101 辽宁省沈阳市苏家屯区大淑堡瑰香街83-5号 | ||