旋转式圆柱形磁控靶

摘要

本实用新型涉及一种旋转式圆柱形磁控靶，具有圆柱形靶材和空心双轴磁流体，圆柱形靶材一端安装在空心双轴磁流体的外轴上，圆柱形靶材另一端设有封盖；圆柱形靶材内部设有极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件，极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件一端安装在空心双轴磁流体的内轴上，另一端固定在封盖上，空心双轴磁流体的外轴与电机通过传动装置转动连接；空心双轴磁流体的内轴固定在设备工作台的台板上。本实用新型具有膜厚均匀、性能稳定和靶材利用率高(可达到75％以上)等特点，体积小，适合实验室使用、适合单人操作，提高了沉积薄膜的均匀性。

主权项

一种旋转式圆柱形磁控靶，其特征在于：具有圆柱形靶材和空心双轴磁流体，圆柱形靶材一端安装在空心双轴磁流体的外轴上，圆柱形靶材另一端设有封盖；圆柱形靶材内部设有极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件，极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件一端安装在空心双轴磁流体的内轴上，另一端固定在封盖上，空心双轴磁流体的外轴与电机通过传动装置转动连接；空心双轴磁流体的内轴固定在设备工作台的台板上。