可量产的微波等离子体光源谐振器

摘要

本实用新型公开了一种可量产的微波等离子体光源谐振器，包括有方形陶瓷块，方形陶瓷块的底部设有截面为矩形的插槽，方形陶瓷块的上表面设有半圆柱形沟槽，方形陶瓷块的内部在垂直方向上分别设有相对称的二个矩形孔，二个矩形孔的上端与半圆柱形沟槽相通，二个矩形孔的下端与插槽相通；方形陶瓷块的底部在与半圆柱形沟槽的轴线相平行的方向上分别设有四个通孔，四个通孔分别位于插槽的两侧，方形陶瓷块的上部在与半圆柱形沟槽的轴线相垂直的方向上分别设有三个通孔。本实用新型增加了陶瓷烧结过程中排气的通道，可以大大减少陶瓷块烧结时的炸裂现象，烧成后尺寸不易变形，精度高，提高了产品的成品率和生产效率。

主权项

一种可量产的微波等离子体光源谐振器，包括有方形陶瓷块，其特征在于：所述方形陶瓷块的底部设有截面为矩形的插槽，方形陶瓷块的上表面设有半圆柱形沟槽，方形陶瓷块的内部在垂直方向上分别设有相对称的二个矩形孔，所述二个矩形孔的上端与所述的半圆柱形沟槽相通，二个矩形孔的下端与所述的插槽相通；所述方形陶瓷块的底部在与所述半圆柱形沟槽的轴线相平行的方向上分别设有四个通孔，所述的四个通孔分别位于所述插槽的两侧，所述方形陶瓷块的上部在与所述半圆柱形沟槽的轴线相垂直的方向上分别设有三个通孔，所述的三个通孔中，中间的通孔位于所述的二个矩形孔之间，其他二个通孔分别位于所述二个矩形孔的外侧。