多轴支撑气浮平台

摘要

多轴支撑气浮平台，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为解决为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它包括承载平台，M条支撑腿、M个气浮筒和M个气足，M为3、4、5、6、7或8，承载平台为圆形平台，承载平台由M条支撑腿支撑，M条支撑腿与承载平台下表面的M个连接点构成M边形；每条支撑腿的末端连接一个气浮筒，每个气浮筒的底端通过气浮球轴承连接一个气足。本发明作为一种支撑平台。

主权项

一种多轴支撑气浮平台，其特征在于，它包括承载平台(1)，M条支撑腿(2)、M个气浮筒(3)和M个气足(4)，M为4、5、6、7或8，所述承载平台(1)为圆形平台，承载平台(1)由M条支撑腿(2)支撑，M条支撑腿(2)与承载平台(1)下表面的M个连接点构成M边形；每条支撑腿(2)的末端连接一个气浮筒(3)，每个气浮筒(3)的底端通过气浮球轴承连接一个气足(4)；承载平台(1)采用气足(4)浮在水平混凝土基座上，气足(4)具有喷嘴，气足(4)底端是一个环形结构，喷嘴分布在环形结构的环形底面上；喷嘴喷气使承载平台(1)在水平混凝土基座上平动；气足(4)为动压，M个气足(4)结构相同，M个气足(4)距离承载平台(1)中心的距离相同；气足(4)依靠压缩空气在气浮球轴承和球套之间形成气膜；所述支撑腿(2)为伸缩式可调节支撑腿，每条支撑腿(2)内部安装有一个压力传感器(5‑1)和一个伺服音圈电机(6‑1)，压力传感器(5‑1)用来检测相应支撑腿(2)受到的压力，伺服音圈电机(6‑1)用来驱动相应的支撑腿(2)的伸缩，每个伺服音圈电机(6‑1)由一个伺服音圈电机驱动器(6‑2)驱动；每条支撑腿(2)内部的上限行程和下限行程分别安装一个接近传感器(8‑1)，接近传感器(8‑1)用于实现限位报警。