发明名称 TRAY ENGINE FOR TRANSFERRING TRAYS
摘要 트레이 엔진이, 수직 구동 칼럼, 수직 구동 칼럼을 회전시키기 위한 회전 메커니즘, 및 수직 구동 칼럼에 부착되는 말단 작용체를 포함한다. 말단 작용체는 수직 구동 칼럼에 부착되는 말단 작용체 기부를 포함한다. 말단 작용체는, 존재할 때, 트레이를 지지하기 위해 말단 작용체 기부에 부착되는 슬라이드를 더 포함한다. 슬라이드는, 트레이가 말단 작용체 기부의 길이를 따라 활주하는 것을 가능하게 한다. 트레이 엔진은, 존재할 때, 트레이를 길이를 따라 선형으로 활주시키는 것 및 상기 슬라이드로 또는 상기 슬라이드로부터 상기 트레이를 로딩 또는 언로딩하는 것을 가능하게 하도록, 상기 말단 작용체 기부의 길이를 따르는 이동을 위해 상기 말단 작용체 기부에 부착되는 구동 메커니즘을 포함을 포함한다.
申请公布号 KR20150128955(A) 申请公布日期 2015.11.18
申请号 KR20157028589 申请日期 2014.03.13
申请人 BROOKS AUTOMATION, INC. 发明人 BONORA ANTHONY C.;COMPIAN BRIAN;HENDERSON JEFF P.;CARLSON ROBERT W.
分类号 B25J15/00;B07C5/00;B65G47/90;B65G61/00;G01N35/04;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 主分类号 B25J15/00
代理机构 代理人
主权项
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