用于通过激光诱导等离子体光谱来分析表面层的成分并进行采样以执行互补分析的系统和方法

摘要

一种用于通过激光诱导击穿光谱来分析材料的表面层的成分并且获得样品以对该表面层进行附加的分析或检查的系统以及与该系统相关的方法。该系统包括：单脉冲激光器(6)，用于生成能够与所述材料的表面层相互作用的脉冲激光束并在所述材料(4)的表面上产生等离子体；用于将所述脉冲激光束聚焦到所述材料的表面上的装置(10、12)；用于收集由所述等离子体发射的光的装置(18、20)；以及，用于对收集的光进行光谱分析并根据所述光谱分析来确定所述表面层的元素成分(元素的特性和相对浓度)的装置(22)。根据本发明，该系统还包括：用于吸收并收集所述表面层的代表性粒子的装置(30、32、34)，所述代表性粒子在激光束的作用下从所述表面层提取出来，从而在所述粒子的基础上进行定性或定量的互补分析或检查。

主权项

一种用于通过激光诱导击穿光谱来分析材料的表面层尤其是放射层的成分的系统，包括：单脉冲激光器(6)，用于生成能够与所述表面层相互作用的脉冲激光束并在所述材料(4)的表面上产生等离子体；用于将所述脉冲激光束聚焦到所述材料的表面上的装置(10、12)；用于收集由所述等离子体发射的光的装置(18、20)；用于对以这种方式收集的光进行光谱分析，并根据所述光谱分析来确定所述表面层的元素成分的装置(22)；其特征在于，该系统还包括：用于吸收并收集所述表面层的代表性粒子的装置(30、32、34；42、44、46)，所述代表性粒子在所聚焦的脉冲激光束的作用下从所述表面层提取出来，从而使用所吸收、收集的粒子来进行至少一个附加的定性或定量分析，或至少一个检查，尤其是放射性污染检查。