| 发明名称 | 一种PECVD射频系统进电组件 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种PECVD射频系统进电组件，具有本体；所述本体包括紫铜镀锡编织网、铜线和不锈钢接头，所述铜线一端套接在紫铜镀锡编织网的内径孔里，其另一端通过不锈钢接头封闭连接，本实用新型的进电组件可以随时随地的加工进电组件，及时跟换无需等待备品备件，原有的进电组件单根售价较高，只能在故障后进行更换；本实用新型的进电组件成本低，不仅可以估算使用寿命后提前批量性更换，而且降低进电组件寿命到期导致产品不良。 | ||
| 申请公布号 | CN204792697U | 申请公布日期 | 2015.11.18 |
| 申请号 | CN201520409287.3 | 申请日期 | 2015.06.12 |
| 申请人 | 江苏武进汉能光伏有限公司 | 发明人 | 陆亮亮;郭必玉;田振超 |
| 分类号 | H01L21/205(2006.01)I;H01R11/01(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/205(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人 | 徐琳淞 |
| 主权项 | 一种PECVD射频系统进电组件，具有本体(1)；其特征在于：所述本体(1)包括紫铜镀锡编织网(2)、铜线(3)和不锈钢接头(4)，所述铜线(3)一端套接在紫铜镀锡编织网(2)的内径孔里，其另一端通过不锈钢接头(4)封闭连接。 | ||
| 地址 | 213000 江苏省常州市武进区高新区人民东路158号684室 | ||