发明名称 |
一种超薄的MOSFET封装结构 |
摘要 |
本实用新型涉及一种超薄的MOSFET封装结构,包括MOSFET晶圆,所述MOSFET晶圆的电极面上设有导通部分,所述MOSFET晶圆的侧壁呈沟槽结构;所述导通部分和沟槽结构的侧面铺有导电线路层;所述MOSFET晶圆的电极面上除导通部分外铺有绝缘保护层;所述导通部分的导电线路层上设有凸点;所述MOSFET晶圆的背面铺设有背面导电层。本实用新型的封装结构工艺简单,可进行晶圆级加工,效率高,周期短,封装的整体厚度可以降低到很薄,封装的体积比较小。 |
申请公布号 |
CN204792701U |
申请公布日期 |
2015.11.18 |
申请号 |
CN201520431392.7 |
申请日期 |
2015.06.19 |
申请人 |
宁波芯健半导体有限公司 |
发明人 |
曹凯;谢皆雷;吴超;罗立辉 |
分类号 |
H01L21/56(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/56(2006.01)I |
代理机构 |
上海泰能知识产权代理事务所 31233 |
代理人 |
宋缨;孙健 |
主权项 |
一种超薄的MOSFET封装结构,包括MOSFET晶圆,其特征在于,所述MOSFET晶圆的电极面上设有导通部分,所述MOSFET晶圆的侧壁呈沟槽结构;所述导通部分和沟槽结构的侧面铺有导电线路层;所述MOSFET晶圆的电极面上除导通部分外铺有绝缘保护层;所述导通部分的导电线路层上设有凸点;所述MOSFET晶圆的背面铺设有背面导电层。 |
地址 |
315336 浙江省宁波市杭州湾新区庵东工业园区华兴地块中横路18号 |