一种新型多晶硅侧分层加热装置

摘要

本实用新型涉及一种新型多晶硅侧分层加热装置，其包括上铜电极、顶加热器、侧上石墨连接块、侧上加热器、侧下加热器、四周连接块、底加热器以及下铜电极；其中，所述上铜电极的底部连接固定有所述顶加热器；所述侧上石墨连接块上端和顶加热器连接，底端和侧上加热器连接；所述侧下加热器位于侧上加热器下方；所述侧上加热器、侧下加热器的两端分别采用所述四周连接块固定；所述底加热器位于侧下加热器的下方，并和顶加热器相对设置；所述下铜电极连接至底加热器上。本实用新型的新型多晶硅侧分层加热装置具有能耗低，热场设计合理，适用于大尺寸高品质硅锭生产等诸多优点。

主权项

一种新型多晶硅侧分层加热装置，其特征在于：包括上铜电极、顶加热器、侧上石墨连接块、侧上加热器、侧下加热器、四周连接块、底加热器以及下铜电极；其中，所述上铜电极的底部连接固定有所述顶加热器；所述侧上石墨连接块上端和顶加热器连接，底端和侧上加热器连接；所述侧下加热器位于侧上加热器下方；所述侧上加热器、侧下加热器的两端分别采用所述四周连接块固定；所述底加热器位于侧下加热器的下方，并和顶加热器相对设置；所述下铜电极连接至底加热器上。