具有判定放电开始的功能的气体激光振荡器

摘要

本发明的具有判定放电开始的功能的气体激光振荡器具备：放电管，其设置于激光气体所循环的气体流路；输出指令部，其输出电源输出指令；电源部，其对放电管施加与电源输出指令值相应的放电管电压；电压检测部，其检测放电管电压；以及放电开始判定部，其基于放电管电压的变化比率来判定放电管中是否开始了放电。输出指令部以阶梯时宽和电源输出指令值的增幅使电源输出指令值呈阶梯状上升，该阶梯时宽是以到电源部对电源输出指令作出响应为止所需的时间为基准而决定的，该电源输出指令值的增幅是将与作为预先决定的基准的放电开始电压对应的电源输出指令值除以2以上的阶梯数而得到的。

主权项

一种气体激光振荡器，其特征在于，具备：放电管(11，12，13，14)，其设置于激光气体所循环的气体流路(10)；输出指令部(41)，其输出电源输出指令；电源部(2)，其对上述放电管施加与从上述输出指令部输出的电源输出指令值(S)相应的放电管电压；电压检测部(281，282)，其检测上述放电管电压；放电开始判定部(3)，其基于由上述电压检测部检测出的放电管电压相对于从上述输出指令部输出的电源输出指令值的变化比率，来判定上述放电管中是否开始了放电；以及气体压力调整部(18)，其对上述气体流路内的激光气体压力进行调整，其中，上述输出指令部以阶梯时宽(Δt)使上述电源输出指令值呈阶梯状上升，该阶梯时宽(Δt)是到上述电源部对上述电源输出指令作出响应为止所需的响应时间乘以规定的系数而得到的，随着从上述输出指令部输出电源输出指令之前的待机时间增加，上述气体压力调整部使上述气体流路内的激光气体压力逐渐减小。