一种三维超材料及其制备方法

摘要

本发明提供一种三维超材料的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：在曲面基材的内壁镀铜，再在铜层表面旋涂或喷涂一层光刻胶；根据曲面基材内壁金属微结构的排布的逆向光路投影的仿真结果制备光刻掩膜板；将制备好的光刻掩膜板覆盖在所述曲面基材涂有光刻胶的区域，然后进行光刻，获得所需的金属微结构，制成三维超材料。利用投影光刻的方法并以陶瓷作为基材制备三维超材料，该超材料的金属微结构打破了传统的二维平面金属微结构，拓展了超材料的应用领域；并且选用陶瓷作为基材，不但提高了超材料的机械强度，也降低了其损耗；同时也突破了传统的只能在有机基材上覆金属微结构的技术瓶颈。

主权项

一种三维超材料的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：在曲面基材的内壁镀铜，再在铜层表面旋涂或喷涂一层光刻胶，其中，所述铜层的厚度为10～18微米；根据曲面基材内壁金属微结构的排布的逆向光路投影的仿真结果制备光刻掩膜板；将制备好的光刻掩膜板覆盖在所述曲面基材涂有光刻胶的区域，然后进行光刻，获得所需的金属微结构，制成三维超材料，其中，所述金属微结构是由金属丝构成的工字型或雪花型结构。