一种基于LTCC的超材料谐振子及制备方法

摘要

本发明提供一种基于LTCC的超材料谐振子，所述超材料谐振子包括由Qf为50000GHz～200000GHz的陶瓷粉制成的调节部分和由烧结温度低于950℃的陶瓷粉制备的LTCC部分，LTCC部分包括陶瓷基板和附着在陶瓷基板上的多个金属微结构。还涉及该结构超材料谐振子的制备方法。采用LTCC技术制备出的超材料谐振子的介电常数能够达到80，但由于能够低温共烧的陶瓷的损耗比较大，所以使超材料谐振子的Qf降低了，为了既满足高介电(介电常数为50～70)、又满足高Qf(Qf可达20000GHz)的性能，因此本发明制备出含有金属微结构的LTCC部分与具有高Qf的调节部分连接在一起的基于LTCC超材料谐振子，通过具有高Qf的调节部分来提高整个超材料谐振子的Qf；并且该制备工艺简单、操作方便，可大规模工业制作。

主权项

一种基于LTCC的超材料谐振子，其特征在于，所述超材料谐振子包括由Qf为50000GHz～200000GHz的陶瓷粉制成的调节部分和由烧结温度低于950℃的陶瓷粉制备的LTCC部分，所述LTCC部分包括陶瓷基板和附着在所述陶瓷基板上的多个金属微结构，其中，制备所述LTCC部分的陶瓷粉为BaZn₂Ti₄O₁₁‑Xwt％TeO₂、BaTi₄O₉‑Ywt％Nd₂O₃、(Li_1/2Nd_1/2)TiO₃或(Li_1/2Sm_1/2)TiO₃,其中X为0～6、Y为0～10，制备所述调节部分的陶瓷粉为A(B_1/3C_2/3)O₃‑Xwt％SnO₂，其中A为Ba、Sr或Ca，B为Ni、Co、Sr、Ca、Mn、Cd、Zn或Mg，C为Nb或Ta，X为0～10；或者制备所述调节部分的陶瓷粉为ZnTiNb₂O₈‑0.8TiO₂。