一种微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种新型的微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法。该传感器能够有效避免传统光纤法布里-珀罗传感器的压力敏感膜受压后，产生非平面移动，造成较大光能损失的缺陷，能够得到更高的测量精度。本发明提供的微型光纤法布里-珀罗压力传感器，包括通过静电键合工艺连接的单晶硅膜和硼硅酸盐光纤，所述单晶硅膜具有凸台，所述硼硅酸盐光纤具有凹腔，单晶硅膜具有凸台的一面和硼硅酸盐光纤的凹腔相对形成法布里-珀罗腔，所述凸台顶端形成反射面。本传感器使得敏感膜在受压变形过程中，光纤法布里-珀罗腔的两个反射面始终保持平行，大大提高了测量精度。

主权项

一种微型光纤法布里‑珀罗压力传感器，包括通过静电键合工艺连接的单晶硅膜和硼硅酸盐光纤，其特征在于：所述单晶硅膜具有凸台，所述硼硅酸盐光纤具有凹腔，单晶硅膜具有凸台的一面和硼硅酸盐光纤的凹腔相对形成法布里‑珀罗腔，所述凸台顶端形成反射面, 当单晶硅膜受压变形时，凸台顶面保持与凹腔相对面平行。