一种消除重力影响的薄基片变形测量方法

摘要

本发明公开了一种消除重力影响的薄基片变形测量方法，所述薄基片由三个支撑球支撑，包括以下步骤：通过测量确定三个支撑球的位置；将待测的薄基片放置于三个支撑球上，确定薄基片的厚度和位置；将测得的三个支撑球的位置信息和薄基片的厚度、轮廓与位置信息输入至有限元分析软件中，进行重力附加变形仿真，计算重力附加变形；扫描测得薄基片的总变形，总变形减去计算的重力附加变形，得出薄基片真实变形。本发明无离子污染，不使用液体，不产生表面张力附加变形；对支撑球的位置没有要求，不要求支撑机构的装配精度；不需要额外定心机构来保证薄基片中心处于正反测量翻转轴上。

主权项

一种消除重力影响的薄基片变形测量方法，所述薄基片由三个支撑球支撑，其特征在于：包括以下步骤：①通过测量确定三个支撑球的位置；②将待测的薄基片放置于三个支撑球上，确定薄基片的厚度、位置和轮廓信息；③将步骤①和步骤②测得的三个支撑球的位置信息和薄基片的厚度、位置和轮廓信息输入至有限元分析软件中，进行重力附加变形仿真，计算重力附加变形；④扫描测得薄基片的总变形，总变形减去步骤③计算的重力附加变形，得出薄基片真实变形。