基于氧化石墨烯的柔性集成温湿度传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于氧化石墨烯的柔性集成温湿度传感器，包括柔性基板、下金属电极、第一氧化石墨烯层、第一金属电极、第二金属电极和第二氧化石墨烯层；柔性基板固定连接在下金属电极的上表面，柔性基板中设有通孔；第一氧化石墨烯层位于柔性基板的通孔中，且第一氧化石墨烯层充满柔性基板的通孔；第一金属电极和第二金属电极分别与柔性基板的上表面相连接，第一金属电极和第二金属电极之间有间隙，第二氧化石墨烯层连接在第一金属电极和第二金属电极的上表面，且延伸到第一金属电极和第二金属电极之间的间隙中，与柔性基板的上表面连接。本发明还公开了柔性集成传感器的制备方法。该温湿度传感器具有结构简单、加工方便、灵敏度高、重量轻，柔性和生物兼容性好等优点，同时温度敏感电容可以用于对湿度敏感电容进行温度补偿。

主权项

一种基于氧化石墨烯的柔性集成温湿度传感器，其特征在于，该传感器包括柔性基板（1）、下金属电极（2）、第一氧化石墨烯层（3）、第一金属电极（4）、第二金属电极（5）和第二氧化石墨烯层（6）；柔性基板（1）固定连接在下金属电极（2）的上表面，柔性基板（1）中设有通孔；第一氧化石墨烯层（3）位于柔性基板（1）的通孔中，且第一氧化石墨烯层（3）充满柔性基板（1）的通孔；第一金属电极（4）和第二金属电极（5）分别与柔性基板（1）的上表面相连接，第一金属电极（4）和第二金属电极（5）之间有间隙，且第一金属电极（4）覆盖第一氧化石墨烯层（3）；第二氧化石墨烯层（6）连接在第一金属电极（4）和第二金属电极（5）的上表面，且延伸到第一金属电极（4）和第二金属电极（5）之间的间隙中，与柔性基板（1）的上表面连接；第一金属电极（4）和第二金属电极（5）之间的间隙和柔性基板（1）的通孔错位布设。