一种尖晶石铁氧体薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种尖晶石铁氧体薄膜的制备方法，属于薄膜技术领域。本发明首先采用电化学沉积法制备合金薄膜，然后在强碱溶液中采用恒电流法对合金薄膜进行阳极活化，最后烧结得到尖晶石铁氧体薄膜。采用本发明方法制备尖晶石铁氧体薄膜时所需要的烧结时间短，并且烧结时不需要通入氧气，得到的薄膜为柱状结构，其垂直于膜面方向的饱和磁化强度较大，具有更好的磁性能。

主权项

一种尖晶石铁氧体薄膜的制备方法，包括以下步骤：步骤1：采用电化学沉积法制备合金薄膜MFe₂；步骤2：采用三电极法对合金薄膜进行阳极活化：以步骤1得到的合金薄膜为工作电极，以强碱溶液为电解液，电解液中OH^‑的浓度为1～5mol/L，采用恒电流法在‑200mA/cm²～‑50mA/cm²的电流密度下活化10～60min，得到活化后的合金薄膜；步骤3：将步骤2得到的活化后的合金薄膜放入马弗炉中，在400℃～600℃温度下烧结3h，然后随炉自然降温得到所述尖晶石铁氧体薄膜；步骤1得到的合金薄膜的化学式为MFe₂，步骤3得到的尖晶石铁氧体的化学式为MFe₂O₄，其中M²⁺为Co²⁺、Ni²⁺、Mn²⁺、Zn²⁺、Cu²⁺、Ca²⁺、Mg²⁺中的一种。