用于大尺寸面板的洗净系统

摘要

本实用新型揭示了一种用于大尺寸面板的洗净系统，在面板水平输送方向上依次包括自动入料设备、洗净设备、吹干设备、自动出料设备以及位于每个设备内的传输机构，自动入料设备和自动出料设备上分别开设有入料口和出料口，从入料口进入自动入料设备内定位的面板，经传输机构依次将其传输到洗净设备、吹干设备和自动出料设备内，洗净吹干后的面板最后从出料口输出。本实用新型增大了产出基板尺寸，且可有效洗净基板表面杂质并进行强有力的吹干，提升产出与良率。

主权项

一种用于大尺寸面板的洗净系统，其特征在于：在面板水平输送方向上依次包括自动入料设备、洗净设备、吹干设备、自动出料设备以及位于每个所述设备内的传输机构，所述自动入料设备和所述自动出料设备上分别开设有入料口和出料口，从入料口进入所述自动入料设备内定位的面板，经所述传输机构依次将其传输到所述洗净设备、吹干设备和自动出料设备内，洗净吹干后的面板从所述出料口输出，所述自动入料设备、洗净设备、吹干设备和自动出料设备内部均为至多具有一开口的密闭空间。