一种单晶硅头尾料破碎装置

摘要

一种单晶硅头尾料破碎装置，适用于硅单晶生产中对头尾料的破碎。本实用新型主要是由箱体（1）、四氟护板（2）、压空管道（3）、压空阀门（4）、液氮管道（5）、液氮阀门（6）、排气口（7）、喷洒盘（8）构成；箱体（1）的内壁镶嵌有四氟护板（2）进行屏蔽，防止金属沾污；箱体（1）与四氟板（2）之间填有保温材料（9）；箱体（1）的顶部开有2个圆形的排气口（7），箱体（1）顶部中间连接有液氮管道（5），液氮管道（5）的上下两端连接有液氮阀门（6）和喷洒盘（8），喷洒盘（8）在箱体（1）内部，喷洒盘（8）上有圆形的喷洒孔（10）；箱体（1）的侧面连接有压空管道（3），压空管道上有压空阀门（4）。本实用新型操作简便，高纯洁净，安全可靠，有效的解决了现有破碎方法所存在的不足。

主权项

一种多晶硅头尾料破碎装置，其特征是：所述的一种多晶硅头尾料破碎装置，主要是由箱体（1）、四氟护板（2）、压空管道（3）、压空阀门（4）、液氮管道（5）、液氮阀门（6）、排气口（7）、喷洒盘（8）构成；其中箱体（1）上有带有锁紧和密封功能的门，箱体（1）的内壁镶嵌有四氟护板（2）；箱体（1）与四氟护板（2）之间填有保温材料（9）；箱体（1）的顶部开有2个圆形的排气口（7），箱体（1）顶部中间位置连接有液氮管道（5），液氮管道（5）的上部装有液氮阀门（6），液氮管道（5）的底部装有喷洒盘（8），喷洒盘（8）是在箱体（1）的内部；箱体（1）的下部一侧连接有压空管道（3），压空管道（3）上装有压空阀门（4）。