基板处理装置

摘要

根据本发明的一个实施例的基板处理装置包括：具有内部空间的处理腔室，在所述内部空间中容纳有从外部传送来的基板并且执行与所述基板相关的处理；电热线加热器，所述电热线加热器沿着所述处理腔室的侧壁安装，从而布置在所述内部空间的外周上以对所述基板进行加热；以及冷却管，从外部供应的制冷剂流动通过所述冷却管，所述冷却管沿着所述处理腔室的所述侧壁布置在所述电热线加热器之间。

主权项

一种基板处理装置，该基板处理装置包括：具有内部空间的处理腔室，在所述内部空间中容纳有基板并且执行与所述基板相关的处理；电热线加热器，所述电热线加热器布置在所述处理腔室的侧壁中，所述电热线加热器环绕所述内部空间进行布置以对所述基板进行加热；以及冷却管，从外部供应的制冷剂在所述冷却管中流动，所述冷却管沿着所述处理腔室的所述侧壁布置在所述电热线加热器之间。