用于光刻设备的莫尔条纹的对准装置

摘要

一种用于光刻设备的莫尔条纹对准装置，包括照明光源、第三1/4波片、偏振分光棱镜、第一1/4波片、4f透镜前组、空间滤波器、4f透镜组的后组、探测器、第二1/4波片、和三角棱镜和数据处理器。利用偏振分光棱镜将对准标记的同级次衍射光束空间分离为两部分，分别为变换光束和参考光束，将变换光束在成像模块光瞳面空间旋转一定的角度或者旋转180度后进行位置偏移，通过成像模块后，变换光束和参考光束分别成像，并在像面上形成莫尔条纹，当对准标记相对对准装置产生位置移动时，像面上的莫尔条纹将对准标记的移动量成倍放大，通过探测系统对莫尔条纹进行处理，得到对准标记位置信息的移动量，从而进行硅片的位置对准。

主权项

一种用于光刻设备的莫尔条纹的对准装置，其特征在于该装置包括照明光源(101)，沿该照明光源输出光束方向依次是第三1/4波片(110)、偏振分光棱镜(103)、第一1/4波片(104)、4f透镜前组(105)，在所述的偏振分光棱镜(103)的右侧依次是空间滤波器(111)、4f透镜组的后组(112)和探测器(113)，在所述的偏振分光棱镜(103)的左侧依次是第二1/4波片(108)和三角棱镜(109)，所述的4f透镜前组(105)和4f透镜组的后组(112)构成4f透镜组，所述的探测器(113)位于所述的4f透镜组的后组的后焦平面，所述的探测器(113)的输出端接数据处理器的输入端。